Заштитата на животната средина се посветува сè поголемо внимание, особено со зголемувањето на времето на магла. Инженерството за чиста просторија е една од мерките за заштита на животната средина. Како да користите инженеринг за чиста просторија за да направите добра работа во заштитата на животната средина? Ајде да разговараме за контролата во инженерството за чисти простории.
Контрола на температурата и влажноста во чиста просторија
Температурата и влажноста на чистите простори главно се одредуваат врз основа на барањата на процесите, но кога се исполнуваат барањата за процеси, треба да се земе предвид човечката удобност. Со подобрување на барањата за чистота на воздухот, постои тренд на построги барања за температура и влажност во процесот.
Како општ принцип, како резултат на зголемената прецизност на обработката, барањата за опсегот на флуктуација на температурата стануваат помали и помали. На пример, во процесот на литографија и изложеност на големо производство на интегрирано коло, разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу стакло и силиконски нафора што се користат како материјали за маска станува се повеќе мала.
Силиконски нафора со дијаметар од 100 μm предизвикува линеарно проширување од 0,24 μm кога температурата се зголемува за 1 степен. Затоа, неопходна е постојана температура од ± 0,1 ℃, а вредноста на влажноста е генерално мала затоа што по потењето, производот ќе биде загаден, особено во работилниците за полупроводници кои се плашат од натриум. Овој вид работилница не треба да надминува 25.
Преголемата влажност предизвикува повеќе проблеми. Кога релативната влажност надминува 55%, кондензацијата ќе се формира на wallидот на цевката за вода за ладење. Ако се појави во прецизни уреди или кола, може да предизвика разни несреќи. Кога релативната влажност е 50%, лесно е да се 'рѓа. Покрај тоа, кога влажноста е превисока, прашината што се придржува на површината на силиконскиот нафта ќе биде хемиски adsorbed на површината преку молекулите на водата во воздухот, што е тешко да се отстрани.
Колку е поголема релативната влажност, толку е потешко да се отстрани адхезијата. Меѓутоа, кога релативната влажност е под 30%, честичките исто така лесно се adsorbed на површината заради дејството на електростатската сила, а голем број на полупроводнички уреди се склони кон дефект. Оптималниот температурен опсег за производство на силиконски нафора е 35-45%.
Воздушен притисокконтролаво чиста просторија
За повеќето чисти простори, со цел да се спречи напаѓање на надворешното загадување, неопходно е да се одржи внатрешниот притисок (статички притисок) повисок од надворешниот притисок (статички притисок). Одржувањето на разликата во притисокот генерално треба да ги почитува следниве принципи:
1. Притисокот во чистите простори треба да биде поголем од оној на не чистите простори.
2. Притисокот во простори со високи нивоа на чистота треба да биде поголем од оној во соседните простори со ниско ниво на чистота.
3. Вратите помеѓу чистите простории треба да се отворат кон простории со високи нивоа на чистота.
Одржувањето на разликата во притисокот зависи од количината на свеж воздух, што треба да може да го компензира истекувањето на воздухот од празнината под оваа разлика во притисокот. Значи, физичкото значење на разликата во притисокот е отпорност на истекување (или инфилтрација) проток на воздух низ разни празнини во чиста просторија.
Време на објавување: јули-21-2023