На заштитата на животната средина се посветува се повеќе внимание, особено со зголемувањето на маглиното време. Инженерството на чиста соба е една од мерките за заштита на животната средина. Како да се користи инженерството за чиста соба за да се направи добра работа во заштитата на животната средина? Ајде да зборуваме за контролата во инженерството на чиста соба.
Контрола на температурата и влажноста во чиста просторија
Температурата и влажноста на чистите простори главно се одредуваат врз основа на барањата на процесот, но при исполнувањето на барањата на процесот, треба да се земе предвид удобноста на човекот. Со подобрувањето на барањата за чистота на воздухот, постои тренд на построги барања за температура и влажност во процесот.
Како општ принцип, поради зголемената прецизност на обработката, барањата за опсег на флуктуација на температурата стануваат сè помали и помали. На пример, во процесот на литографија и изложеност на големо производство на интегрирани кола, разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу стаклото и силиконските наполитанки кои се користат како материјали за маски станува сè помала.
Силиконската обланда со дијаметар од 100 μm предизвикува линеарно проширување од 0,24 μm кога температурата се зголемува за 1 степен. Затоа, потребна е константна температура од ± 0,1 ℃, а вредноста на влажноста е генерално ниска, бидејќи по потењето, производот ќе биде контаминиран, особено во полупроводнички работилници кои се плашат од натриум. Овој тип на работилница не треба да надминува 25℃.
Прекумерната влажност предизвикува повеќе проблеми. Кога релативната влажност ќе надмине 55%, ќе се формира кондензација на ѕидот на цевката за вода за ладење. Ако се појави во прецизни уреди или кола, може да предизвика разни несреќи. Кога релативната влажност е 50%, лесно се рѓосува. Дополнително, кога влажноста е превисока, правот што се прилепува на површината на силиконската обланда хемиски ќе се адсорбира на површината преку молекулите на водата во воздухот, што е тешко да се отстрани.
Колку е поголема релативната влажност, толку е потешко да се отстрани адхезијата. Меѓутоа, кога релативната влажност е под 30%, честичките исто така лесно се адсорбираат на површината поради дејството на електростатската сила, а голем број на полупроводнички уреди се склони кон распаѓање. Оптималниот температурен опсег за производство на силиконски нафора е 35-45%.
Воздушен притисокконтролаво чиста соба
За повеќето чисти простори, за да се спречи навлегување на надворешно загадување, неопходно е да се одржува внатрешниот притисок (статички притисок) повисок од надворешниот притисок (статички притисок). Одржувањето на разликата во притисокот генерално треба да биде во согласност со следниве принципи:
1. Притисокот во чистите простори треба да биде поголем од оној во нечистите простори.
2. Притисокот во просторите со високи нивоа на чистота треба да биде поголем од оној во соседните простори со ниски нивоа на чистота.
3. Вратите помеѓу чистите простории треба да се отвораат кон простории со високи нивоа на чистота.
Одржувањето на разликата во притисокот зависи од количината на свеж воздух, кој треба да може да го компензира истекувањето на воздухот од јазот под оваа разлика во притисокот. Значи, физичкото значење на разликата во притисокот е отпорноста на истекување (или инфилтрација) проток на воздух низ различни празнини во чиста просторија.
Време на објавување: 21 јули 2023 година