На заштитата на животната средина се посветува сè поголемо внимание, особено со зголемувањето на маглата. Инженерството за чисти простории е една од мерките за заштита на животната средина. Како да се користи инженерството за чисти простории за да се направи добра работа во заштитата на животната средина? Ајде да зборуваме за контролата во инженерството за чисти простории.
Контрола на температурата и влажноста во чиста просторија
Температурата и влажноста на чистите простори главно се одредуваат врз основа на барањата на процесот, но при исполнување на барањата на процесот, треба да се земе предвид и човековата удобност. Со подобрувањето на барањата за чистота на воздухот, постои тренд на построги барања за температура и влажност во процесот.
Како општ принцип, поради зголемената прецизност на обработката, барањата за опсег на температурни флуктуации стануваат сè помали и помали. На пример, во процесот на литографија и експозиција на производство на интегрирани кола во голем обем, разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу стаклените и силициумските плочки што се користат како материјали за маска станува сè помала.
Силициумска плочка со дијаметар од 100 μ m предизвикува линеарно ширење од 0,24 μ m кога температурата се зголемува за 1 степен. Затоа, неопходна е константна температура од ± 0,1 ℃, а вредноста на влажноста е генерално ниска бидејќи по потењето, производот ќе биде контаминиран, особено во полупроводнички работилници кои се плашат од натриум. Овој тип на работилница не треба да надминува 25 ℃.
Прекумерната влажност предизвикува повеќе проблеми. Кога релативната влажност надминува 55%, на ѕидот на цевката за вода за ладење ќе се формира кондензација. Доколку се појави кај прецизни уреди или кола, може да предизвика разни несреќи. Кога релативната влажност е 50%, лесно е да 'рѓосува. Покрај тоа, кога влажноста е превисока, прашината што се лепи на површината на силиконската плочка ќе биде хемиски адсорбирана на површината преку молекулите на водата во воздухот, што е тешко да се отстрани.
Колку е поголема релативната влажност, толку е потешко да се отстрани адхезијата. Меѓутоа, кога релативната влажност е под 30%, честичките лесно се адсорбираат на површината поради дејството на електростатската сила, а голем број полупроводнички уреди се склони кон дефект. Оптималниот температурен опсег за производство на силиконски плочки е 35-45%.
Воздушен притисокконтролаво чиста соба
За повеќето чисти простори, за да се спречи навлегување на надворешно загадување, потребно е да се одржува внатрешен притисок (статички притисок) повисок од надворешен притисок (статички притисок). Одржувањето на разликата во притисокот генерално треба да биде во согласност со следниве принципи:
1. Притисокот во чистите простори треба да биде поголем од оној во нечистите простори.
2. Притисокот во просторите со високо ниво на чистота треба да биде поголем од оној во соседните простори со ниско ниво на чистота.
3. Вратите помеѓу чистите соби треба да се отвораат кон просториите со високо ниво на чистота.
Одржувањето на разликата во притисокот зависи од количината на свеж воздух, кој треба да може да го компензира истекувањето на воздух од празнината под оваа разлика во притисокот. Значи, физичкото значење на разликата во притисокот е отпорот на протокот на воздух за истекување (или инфилтрација) низ различни празнини во чистата просторија.
Време на објавување: 21 јули 2023 година