Стапката на принос на чип во индустријата за производство на ИЦ е тесно поврзана со големината и бројот на честички на воздухот депонирани на чипот. Добра организација на проток на воздух може да ги однесе честичките генерирани од изворот на прашина подалеку од чистата просторија за да се обезбеди чистота на чистата просторија, односно организацијата на протокот на воздухот во чиста просторија игра клучна улога во стапката на принос на производство на ИЦ. Дизајнот на организацијата на протокот на воздух во чиста просторија треба да ги постигне следниве цели: да се намали или елиминира струјата на едемот во полето на проток за да се избегне задржување на штетни честички; Одржувајте соодветен градиент на позитивен притисок за да спречите вкрстено загадување.
Сила на проток на воздух
Според принципот на чиста просторија, силите што дејствуваат на честичките вклучуваат масовна сила, молекуларна сила, привлечност помеѓу честички, сила на проток на воздух, итн.
Сила на проток на воздух: се однесува на силата на протокот на воздух предизвикан од испорака, враќање на воздухот, термички конвекција проток на воздух, вештачко мешање и други проток на воздух со одредена стапка на проток за да ги носат честичките. За техничката контрола на околината на чиста просторија, силата на протокот на воздух е најважниот фактор.
Експериментите покажаа дека при движењето на протокот на воздух, честичките го следат движењето на протокот на воздух со скоро иста брзина. Состојбата на честичките во воздухот се определува со дистрибуцијата на протокот на воздух. Тековите на воздухот кои влијаат на честичките во затворен простор главно вклучуваат: проток на воздух за снабдување со воздух (вклучително и примарен проток на воздух и секундарен проток на воздух), проток на воздух и термичка конвекција проток на воздухот предизвикан од луѓе што одат и протокот на воздух предизвикан од процесна работа и индустриска опрема. Различни методи на снабдување со воздух, интерфејси за брзина, оператори и индустриска опрема и индуцирани феномени во чисти простории се сите фактори кои влијаат на нивото на чистота.
Фактори кои влијаат на организацијата на протокот на воздухот
1. Влијанието на методот на снабдување со воздух
(1). Брзина на снабдување со воздух
За да се обезбеди униформа проток на воздух, брзината на снабдување на воздухот мора да биде униформа во еднонасочна чиста просторија; Мртвата зона на површината за снабдување со воздух мора да биде мала; а падот на притисокот во ULPA исто така мора да биде униформа.
Единствена брзина на снабдување со воздух: тоа е, нерамномерноста на протокот на воздух се контролира во рамките на 20%.
Помалку мртва зона на површината за снабдување со воздух: не само што треба да се намали областа на рамнината на рамката ULPA, туку што е уште поважно, треба да се донесе модуларен FFU за да се поедностави редундантната рамка.
За да се обезбеди вертикален еднонасочен проток на воздух, изборот на пад на притисокот на филтерот е исто така многу важен, што бара загубата на притисок во филтерот да не отстапи.
(2). Споредба помеѓу системот FFU и системот за вентилатор на аксијалниот проток
FFU е единица за снабдување со воздух со вентилатор и филтер (ULPA). Откако воздухот ќе го вметне центрифугалниот вентилатор на FFU, динамичниот притисок се претвора во статички притисок во воздушниот канал и рамномерно се разнесе од ULPA. Притисокот на снабдување со воздух на таванот е негативен притисок, така што нема да протече прашина во чистата просторија кога ќе се замени филтерот. Експериментите покажаа дека системот FFU е супериорен во однос на системот за вентилатор на аксијалниот проток во однос на униформноста на излезот на воздухот, паралелизмот на протокот на воздух и индексот на ефикасност на вентилацијата. Ова е затоа што паралелизмот на протокот на воздухот на системот FFU е подобар. Употребата на системот FFU може да го направи протокот на воздух во чиста просторија подобро организиран.
(3). Влијанието на сопствената структура на FFU
FFU главно е составен од вентилатори, филтри, уреди за водичи на проток на воздух и други компоненти. Ултра-високиот филтер за ефикасност ULPA е најважната гаранција за тоа дали чистата просторија може да ја постигне потребната чистота на дизајнот. Материјалот на филтерот исто така ќе влијае на униформноста на полето на проток. Кога се додава груб филтерски материјал или ламинарна плоча за проток на излезот на филтерот, полето за проток на излез може лесно да се направи униформа.
2. Влијание на различна брзина на чистота
Во истата чиста просторија, помеѓу работната површина и неработната област на вертикален едностран проток, заради разликата во брзината на воздухот во излезот ULPA, ќе се генерира мешан ефект на вител на интерфејсот, а овој интерфејс ќе стане турбулентен Зона на проток на воздух со особено висок интензитет на турбуленција на воздухот. Честичките може да се пренесат на површината на опремата и да ја загадат опремата и нафора.
3 Влијание на персоналот и опремата
Кога чистата просторија е празна, карактеристиките на проток на воздух во просторијата генерално ги исполнуваат барањата за дизајн. Откако опремата ќе влезе во чиста просторија, персоналот се движи и производите се пренесуваат, неизбежно ќе има пречки за организацијата за проток на воздух. На пример, на испакнати агли или рабови на опремата, гасот ќе се пренасочи за да формира турбулентна зона, а течноста во зоната не се носи лесно од гасот, со што се предизвикува загадување. Во исто време, површината на опремата ќе се загрее како резултат на континуирано работење, а градиентот на температурата ќе предизвика зона на рефлексија во близина на машината, што ќе ја зголеми акумулацијата на честичките во зоната на рефлексија. Во исто време, високата температура лесно ќе предизвика да избегаат честичките. Двојниот ефект ја влошува тешкотијата за контрола на целокупната вертикална ламинарна чистота. Прашината од операторите во чистата просторија е многу лесно да се придржуваат до нафорите во овие зони на рефлексија.
4. Влијание на повратен воздушен под
Кога отпорот на враќање на воздухот што минува низ подот е различен, ќе се создаде разлика во притисок, така што воздухот ќе тече во насока на помал отпор и нема да се добие униформа проток на воздух. Тековниот популарен метод на дизајн е да се користат покачени подови. Кога стапката на отворање на покачени подови е 10%, брзината на протокот на воздух во работната висина на просторијата може да се дистрибуира рамномерно. Покрај тоа, треба да се посвети строго внимание на работата за чистење за да се намали изворот на загадување на подот.
5. Индукција феномен
Таканаречениот индукциски феномен се однесува на феноменот што се создава протокот на воздух во спротивна насока на униформата проток, а прашината генерирана во просторијата или прашината во соседната загадена област е предизвикан од нагорна страна, така што прашината може да го загади чипот. Следниве се можни феномени на индукција:
(1). Слепа чинија
Во чиста просторија со вертикален еднонасочен проток, поради зглобовите на идот, генерално има големи слепи плочи кои ќе генерираат турбуленции во локалниот проток на враќање.
(2). Ламби
Темките за осветлување во чистата просторија ќе имаат поголемо влијание. Бидејќи топлината на флуоресцентни ламби предизвикува да се издигне протокот на воздух, нема да има турбулентно подрачје под флуоресцентните ламби. Општо, ламбите во чистата просторија се дизајнирани во форма на солза за да се намали влијанието на ламбите врз организацијата на протокот на воздух.
(3.) празнини помеѓу wallsидовите
Кога има празнини помеѓу партиции со различно ниво на чистота или помеѓу партиции и тавани, прашината од областа со ниски барања за чистота може да се пренесе во соседната област со високи барања за чистота.
(4). Растојание помеѓу машината и подот или wallидот
Ако јазот помеѓу машината и подот или wallидот е многу мал, тоа ќе предизвика турбуленција на враќање. Затоа, оставете јаз помеѓу опремата и wallидот и подигнете ја машината за да избегнете да ја оставите машината директно да ја допре земјата.
Време на објавување: февруари-05-2025 година