Приносот на чип во индустријата за производство на чипови е тесно поврзан со големината и бројот на честички на воздухот депонирани на чип. Добрата организација на проток на воздух може да земе честички генерирани од извори на прашина подалеку од чиста просторија и да обезбеди чистота на просторијата за чистење. Односно, организацијата за проток на воздухот во чистачот игра клучна улога во приносот на производство на чипови. Целите што треба да се постигнат во дизајнирањето на организација на проток на воздух на чиста просторија се: да се намалат или елиминираат струите на едемот во полето на проток за да се избегне задржување на штетни честички; Да се одржи соодветен градиент на позитивен притисок за да се спречи вкрстено загадување.
Според принципот на чиста просторија, силите што дејствуваат на честички вклучуваат масовна сила, молекуларна сила, привлечност помеѓу честички, сила на проток на воздух, итн.
Сила на проток на воздух: се однесува на силата на протокот на воздух предизвикан од снабдување и враќање на протокот на воздух, термичка конвекција проток на воздух, вештачка агитација и други проток на воздух со одредена стапка на проток за носење честички. За контролата на технологијата на чиста просторија во животната средина, силата на проток на воздухот е најважниот фактор.
Експериментите покажаа дека при движењето на протокот на воздух, честичките го следат протокот на воздух со скоро иста брзина. Состојбата на честичките во воздухот се определува со дистрибуцијата на протокот на воздух. Главните ефекти на протокот на воздух врз честичките во затворен простор вклучуваат: проток на воздух за снабдување со воздух (вклучително и примарен проток на воздух и секундарен проток на воздух), проток на воздух и термичка конвекција проток на воздух предизвикан од луѓе што одат и влијанието на протокот на воздух врз честичките предизвикани од операциите на процесите и индустриската опрема. Различни методи на снабдување со воздух, интерфејси за брзина, оператори и индустриска опрема, индуцирани феномени, итн. Во просториите за чистење се сите фактори кои влијаат на нивото на чистота.
1. Влијание на методот на снабдување со воздух
(1) Брзина на снабдување со воздух
За да се обезбеди униформа проток на воздух, брзината на снабдување со воздух во еднонасочен проток чиста просторија мора да биде униформа; Мртвата зона на површината за снабдување со воздух мора да биде мала; а падот на притисокот во филтерот ХЕПА исто така мора да биде униформа.
Брзината на снабдување со воздух е униформа: тоа е, нерамномерноста на протокот на воздухот се контролира во рамките на 20%.
На површината за снабдување со воздух има помалку мртов простор: не само што треба да се намали областа на рамнината на рамката ХЕПА, туку уште поважно, модуларниот FFU треба да се користи за поедноставување на редундантната рамка.
Со цел да се осигури дека протокот на воздухот е вертикален и еднонасочен, изборот на пад на притисокот на филтерот е исто така многу важен и се бара загубата на притисок во филтерот да не биде пристрасно.
(2) Споредба помеѓу системот FFU и системот за вентилатор на аксијалниот проток
FFU е единица за снабдување со воздух со филтер за вентилатор и HEPA. Воздухот го вшмукува центрифугалниот вентилатор на FFU и го претвора динамичниот притисок во статички притисок во воздушниот канал. Изнесено е рамномерно од филтерот ХЕПА. Притисокот на снабдување со воздух на таванот е негативен притисок. На овој начин, ниту една прашина нема да истекува во чиста просторија при заменувањето на филтерот. Експериментите покажаа дека системот FFU е супериорен во однос на системот за вентилатор на аксијалниот проток во однос на униформноста на излезот на воздухот, паралелизмот на протокот на воздух и индексот на ефикасност на вентилацијата. Ова е затоа што паралелизмот на протокот на воздухот на системот FFU е подобар. Употребата на системот FFU може да ја подобри организацијата на проток на воздух во чиста просторија.
(3) Влијание на сопствената структура на FFU
FFU главно е составен од вентилатори, филтри, водичи за проток на воздух и други компоненти. Филтерот ХЕПА е најважната гаранција за чиста просторија за да се постигне потребната чистота што ја бара дизајнот. Материјалот на филтерот исто така ќе влијае на униформноста на полето на проток. Кога на излезот на филтерот се додава груб филтерски материјал или плоча за проток, полето за проток на излез може лесно да се направи униформа.
2 Влијание на интерфејсот со брзина со различна чистота
Во истата чиста просторија, помеѓу работната површина и неработената област со вертикален едностран проток, заради разликата во брзината на воздухот во кутијата ХЕПА, ќе се појави мешан ефект на вител на интерфејсот, а овој интерфејс ќе стане турбулентен Зона на проток на воздух. Интензитетот на турбуленцијата на воздухот е особено силен, а честичките може да се пренесат на површината на машината за опрема и да ја загадат опремата и нафорите.
3 Влијание врз персоналот и опремата
Кога чистата просторија е празна, карактеристиките на проток на воздух во просторијата генерално ги исполнуваат барањата за дизајн. Откако опремата ќе влезе во просторијата за чистење, луѓето се движат, а производите се транспортираат, има неизбежно пречки во организацијата за проток на воздух, како што се остри точки што се испакнати од машината за опрема. На аглите или рабовите, гасот ќе се пренасочи за да формира турбулентен простор на проток, а течноста во областа нема лесно да се однесе од влезниот гас, со што ќе предизвика загадување.
Во исто време, површината на механичката опрема ќе се загрева како резултат на континуирано работење, а градиентот на температурата ќе предизвика рефлексија во близина на машината, што ја зголемува акумулацијата на честичките во областа на рефлексија. Во исто време, високата температура лесно ќе предизвика да избегаат честичките. Двојниот ефект го интензивира целокупниот вертикален слој. Тешкотијата на контролирање на чистотата на потокот. Прашината од операторите во чиста просторија лесно може да се придржува до нафорите во овие области.
4. Влијание на повратен воздушен под
Кога отпорноста на враќањето на воздухот што минува низ подот е различна, ќе се случи разликата во притисокот, предизвикувајќи да тече воздух во правец на мал отпор и нема да се добие униформа проток на воздух. Тековниот популарен метод на дизајн е да се користи покачен под. Кога односот на отворање на покачениот под е на 10%, брзината на проток на воздухот може да се дистрибуира рамномерно на висината на работната висина. Покрај тоа, треба да се посвети строго внимание на работата за чистење за да се намали изворот на загадување на подот.
5. Индукција феномен
Т. Можни предизвикани феномени вклучуваат следново:
(1) слепа плоча
Во чиста просторија со вертикален еднонасочен проток, поради зглобовите на wallидот, генерално има големи слепи панели кои ќе создадат турбулентен проток и локален проток на грб.
(2) ламби
Темките за осветлување во чиста просторија ќе имаат поголемо влијание. Бидејќи топлината на флуоресцентната ламба предизвикува да се крева протокот на воздух, флуоресцентната ламба нема да стане турбулентна област. Општо, ламбите во чиста просторија се дизајнирани во форма на солза за да се намали влијанието на ламбите врз организацијата на протокот на воздух.
(3) празнини помеѓу wallsидовите
Кога има празнини помеѓу wallsидовите на партиција или таваните со различни барања за чистота, прашината од области со ниски барања за чистота може да се пренесе во соседните области со високи барања за чистота.
(4) Растојанието помеѓу механичката опрема и подот или идот
Ако јазот помеѓу механичката опрема и подот или wallидот е мал, ќе се појави турбуленција на враќање. Затоа, оставете јаз помеѓу опремата и wallидот и подигнете ја машинската платформа за да избегнете директен контакт со земјата.
Време на објавување: ноември-02-2023