Износот на чипови во индустријата за производство на чипови е тесно поврзан со големината и бројот на воздушни честички депонирани на чипот. Добрата организација на протокот на воздух може да ги оддалечи честичките генерирани од изворите на прашина подалеку од чиста просторија и да обезбеди чистота на чистата просторија. Односно, организацијата на протокот на воздух во чистата соба игра витална улога во приносот на производството на чипови. Целите што треба да се постигнат при дизајнирањето на организацијата на протокот на воздух во чиста просторија се: да се намалат или елиминираат вртложните струи во полето на проток за да се избегне задржување на штетни честички; да се одржи соодветен позитивен градиент на притисок за да се спречи вкрстена контаминација.
Според принципот на чиста соба, силите што делуваат на честичките вклучуваат масовна сила, молекуларна сила, привлекување помеѓу честички, сила на проток на воздух итн.
Сила на проток на воздух: се однесува на силата на протокот на воздух предизвикана од протокот на воздух за снабдување и враќање, проток на воздух со топлинска конвекција, вештачко мешање и други струи со одредена брзина на проток за носење честички. За контрола на технологијата на животната средина во чиста просторија, силата на протокот на воздух е најважниот фактор.
Експериментите покажаа дека при движењето на протокот на воздух, честичките го следат протокот на воздух со речиси иста брзина. Состојбата на честичките во воздухот се определува со распределбата на протокот на воздух. Главните ефекти на протокот на воздух врз внатрешните честички вклучуваат: проток на воздух за довод на воздух (вклучувајќи го примарниот проток на воздух и секундарниот проток на воздух), протокот на воздух и термички конвекциски проток на воздух предизвикан од луѓето што одат и влијанието на протокот на воздух врз честичките предизвикани од операциите на процесот и индустриската опрема. Различните методи за снабдување со воздух, интерфејсите за брзина, операторите и индустриската опрема, индуцираните феномени итн. во чистите простории се сите фактори кои влијаат на нивото на чистота.
1. Влијание на методот на снабдување со воздух
(1) Брзина на довод на воздух
За да се обезбеди рамномерен проток на воздух, брзината на довод на воздух во чистата просторија со еднонасочен проток мора да биде униформа; мртвата зона на површината за довод на воздух мора да биде мала; а падот на притисокот во хепа филтерот исто така мора да биде униформен.
Брзината на довод на воздух е униформа: односно, нерамномерноста на протокот на воздух се контролира во рамките на ±20%.
Има помалку мртов простор на површината за довод на воздух: не само што треба да се намали рамнината на хепа рамката, туку уште поважно, треба да се користи модуларен FFU за да се поедностави вишокот рамка.
Со цел да се осигура дека протокот на воздух е вертикален и еднонасочен, изборот на пад на притисокот на филтерот е исто така многу важен и потребно е губењето на притисокот во филтерот да не може да биде пристрасно.
(2) Споредба помеѓу системот FFU и системот на вентилатор со аксијален проток
FFU е единица за довод на воздух со вентилатор и хепа филтер. Воздухот се вшмукува од центрифугалниот вентилатор на FFU и го претвора динамичкиот притисок во статички притисок во воздушниот канал. Се издува рамномерно со хепа филтер. Притисокот за довод на воздух на таванот е негативен притисок. На овој начин нема да истекува прашина во чиста просторија при замена на филтерот. Експериментите покажаа дека системот FFU е супериорен во однос на системот на вентилатор со аксијален проток во однос на униформноста на излезот на воздухот, паралелизмот на протокот на воздух и индексот на ефикасност на вентилацијата. Тоа е затоа што паралелизмот на протокот на воздух на системот FFU е подобар. Употребата на системот FFU може да ја подобри организацијата на протокот на воздух во чиста просторија.
(3) Влијание на сопствената структура на FFU
FFU главно се состои од вентилатори, филтри, водичи за проток на воздух и други компоненти. Хепа филтерот е најважната гаранција за чиста просторија за да се постигне потребната чистота што ја бара дизајнот. Материјалот на филтерот исто така ќе влијае на униформноста на полето на проток. Кога на излезот од филтерот се додава груб материјал за филтрирање или плоча за проток, полето за проток на излезот може лесно да се изедначи.
2. Влијание на интерфејсот за брзина со различна чистота
Во истата чиста просторија, помеѓу работната површина и неработното подрачје со вертикален еднонасочен проток, поради разликата во брзината на воздухот во кутијата хепа, ќе се појави мешан вител ефект на интерфејсот, а овој интерфејс ќе стане турбулентен зона на проток на воздух. Интензитетот на турбуленцијата на воздухот е особено силен, а честичките може да се пренесат на површината на машината за опрема и да ја контаминираат опремата и обландите.
3. Влијание врз персоналот и опремата
Кога чистата просторија е празна, карактеристиките на протокот на воздух во просторијата генерално ги задоволуваат дизајнерските барања. Штом опремата ќе влезе во чиста соба, луѓето се движат и производите се транспортираат, неизбежно има пречки за организацијата на протокот на воздух, како што се остри точки што излегуваат од машината за опрема. На аглите или рабовите, гасот ќе се пренасочи за да формира турбулентна област на проток, а течноста во областа нема лесно да се однесе од влезниот гас, со што ќе предизвика загадување.
Во исто време, површината на механичката опрема ќе се загрее поради континуирано работење, а температурниот градиент ќе предизвика површина на преточување во близина на машината, што ја зголемува акумулацијата на честички во областа за повторно точење. Во исто време, високата температура лесно ќе предизвика честичките да избегаат. Двојниот ефект го интензивира целокупниот вертикален слој. Тешкотијата за контролирање на чистотата на потокот. Прашината од операторите во чиста просторија може лесно да се залепи на наполитанките во овие области за преточување.
4. Влијание на повратниот воздушен под
Кога отпорот на повратниот воздух што минува низ подот е различен, ќе се појави разлика во притисокот, што предизвикува воздухот да тече во насока на мал отпор, а нема да се добие рамномерен проток на воздух. Сегашниот популарен метод на дизајнирање е да се користи подигнат под. Кога односот на отворањето на подигнатиот под е 10%, брзината на протокот на воздухот може да биде рамномерно распоредена на внатрешната работна висина. Покрај тоа, треба да се посвети строго внимание на работата за чистење за да се намали изворот на загадување на подот.
5. Индукција феномен
Таканаречениот индукциски феномен се однесува на феноменот на генерирање на проток на воздух во спротивна насока од униформниот проток, предизвикувајќи прашина генерирана во просторијата или прашина во соседните контаминирани области на страната против ветерот, со што предизвикува правот да ја контаминира нафората. Можните предизвикани феномени го вклучуваат следново:
(1) Слепа плоча
Во чиста просторија со вертикален еднонасочен проток, поради спојниците на ѕидот, генерално има големи слепи панели кои ќе произведат турбулентен проток и локален повратен проток.
(2) Светилки
Светлосните тела во чиста соба ќе имаат поголемо влијание. Бидејќи топлината на флуоресцентната светилка предизвикува зголемување на протокот на воздух, флуоресцентната светилка нема да стане турбулентна област. Општо земено, светилките во чиста просторија се дизајнирани во форма на солза за да го намалат влијанието на светилките врз организацијата на протокот на воздух.
(3) Празнини меѓу ѕидовите
Кога има празнини помеѓу преградните ѕидови или таваните со различни барања за чистота, прашината од областите со мали барања за чистота може да се пренесе во соседните области со високи барања за чистота.
(4) Растојанието помеѓу механичката опрема и подот или ѕидот
Ако јазот помеѓу механичката опрема и подот или ѕидот е мал, ќе се појават турбуленции за враќање. Затоа, оставете празнина помеѓу опремата и ѕидот и подигнете ја платформата на машината за да избегнете директен контакт со земјата.
Време на објавување: Ноември-02-2023 година