Чистите соби се нарекуваат и простории без прашина. Тие се користат за исфрлање на загадувачи како што се честички прашина, штетен воздух и бактерии во воздухот во одреден простор, како и за контрола на внатрешната температура, чистотата, внатрешниот притисок, брзината и распределбата на протокот на воздух, вибрациите на бучавата, осветлувањето и статичкиот електрицитет во одреден опсег. Следново главно ги опишува четирите неопходни услови за постигнување на барањата за чистота во мерките за прочистување на чистите простории.
1. Чистота на доводот на воздух
За да се осигури дека чистотата на доводот на воздух ги исполнува барањата, клучот е во перформансите и инсталацијата на завршниот филтер на системот за прочистување. Завршниот филтер на системот за чиста просторија генерално користи HEPA филтер или sub-HEPA филтер. Според националните стандарди, ефикасноста на HEPA филтрите е поделена на четири степени: Класа A е ≥99,9%, Класа B е ≥99,99%, Класа C е ≥99,999%, Класа D е (за честички ≥0,1μm) ≥99,999% (исто така познати како ултра-HEPA филтри); sub-HEPA филтрите се (за честички ≥0,5μm) 95~99,9%.
2. Организација на протокот на воздух
Организацијата на протокот на воздух во чиста просторија е различна од онаа во општа климатизирана просторија. Потребно е најчистиот воздух прво да се испорача во работната област. Неговата функција е да се ограничи и намали контаминацијата на обработените предмети. Различните организации на протокот на воздух имаат свои карактеристики и опсег: Вертикален еднонасочен проток: И двата можат да обезбедат рамномерен проток на воздух надолу, да го олеснат распоредот на процесната опрема, да имаат силна способност за самопречистување и да ги поедностават вообичаените објекти како што се просториите за лична чиста просторија. Четирите методи за снабдување со воздух исто така имаат свои предности и недостатоци: целосно покриените HEPA филтри имаат предности на низок отпор и долг циклус на замена на филтерот, но структурата на таванот е комплексна, а цената е висока; предностите и недостатоците на испораката на горниот дел од HEPA филтерот со странично покриен слој и испораката на горниот дел од плочата со целосни дупки се спротивни на оние на испораката на горниот дел од HEPA филтерот со целосно покриен слој. Меѓу нив, испораката на горниот дел од плочата со целосни дупки е склона кон акумулација на прашина на внатрешната површина на отворот кога системот не работи континуирано, а лошото одржување ќе има одредено влијание врз чистотата; Густата горна испорака на дифузер бара слој за мешање, па затоа е погодна само за високи чисти соби над 4 метри, а нејзините карактеристики се слични на оние на горната испорака на плочи со целосни дупки; методот на повратен воздух за плочите со решетки од двете страни и излези за повратен воздух рамномерно распоредени на дното на ѕидовите од двете страни е погоден само за чисти соби со нето растојание помало од 6 метри од двете страни; излезите за повратен воздух на дното на едностраниот ѕид се погодни само за чисти соби со мало растојание помеѓу ѕидовите (како на пример ≤2~3 метри). Хоризонтален еднонасочен проток: само првата работна површина достигнува чистота од 100 нивоа. Кога воздухот тече кон другата страна, концентрацијата на прашина постепено се зголемува. Затоа, е погодна само за чисти соби со различни барања за чистота за истиот процес. Локалната дистрибуција на HEPA филтри на ѕидот за довод на воздух може да ја намали употребата на HEPA филтри и да заштеди почетна инвестиција, но постојат вртлози во локалните области. Турбулентен проток на воздух: Карактеристиките на горната испорака на плочите со отвори и горната испорака на густите дифузери се исти како оние споменати погоре. Предностите на страничната испорака се лесно поставување на цевководи, недостаток на технички меѓуслој, ниска цена и погодност за реновирање на стари фабрики. Недостатоци се што брзината на ветерот во работната зона е голема, а концентрацијата на прашина на страната во правец на ветерот е поголема отколку на страната во правец на ветерот. Горната испорака на излезите на HEPA филтерот има предности на едноставен систем, недостаток на цевководи зад HEPA филтерот и чист проток на воздух директно доставен до работната зона, но чистиот проток на воздух се шири бавно и протокот на воздух во работната зона е порамномерен. Меѓутоа, кога повеќе излези за воздух се рамномерно распоредени или се користат излези на HEPA филтер со дифузери, протокот на воздух во работната зона може да се направи и порамномерен. Меѓутоа, кога системот не работи континуирано, дифузерот е склонен кон акумулација на прашина.
3. Волумен на довод на воздух или брзина на воздух
Доволен волумен на вентилација е за разредување и отстранување на загадениот воздух во затворен простор. Според различните барања за чистота, кога нето висината на чистата просторија е висока, фреквенцијата на вентилација треба соодветно да се зголеми. Меѓу нив, волуменот на вентилација на чистата просторија од 1 милион се зема предвид според високоефикасен систем на чиста просторија, а останатите се земаат предвид според високоефикасен систем на чиста просторија; кога HEPA филтрите од класата 100.000 чисти простории се концентрирани во машинската просторија или под-HEPA филтрите се користат на крајот од системот, фреквенцијата на вентилација може соодветно да се зголеми за 10% до 20%.
4. Разлика во статичкиот притисок
Одржувањето на одреден позитивен притисок во чистата просторија е еден од основните услови за да се осигури дека чистата просторија не е загадена или помалку загадена за да се одржи дизајнираното ниво на чистота. Дури и за чиста просторија со негативен притисок, таа мора да има соседна просторија или апартман со ниво на чистота не пониско од нејзиното ниво за да се одржи одреден позитивен притисок, така што чистотата на чистата просторија со негативен притисок може да се одржува. Вредноста на позитивниот притисок во чистата просторија се однесува на вредноста кога внатрешниот статички притисок е поголем од надворешниот статички притисок кога сите врати и прозорци се затворени. Тоа се постигнува со методот дека волуменот на довод на воздух на системот за прочистување е поголем од волуменот на повратниот воздух и волуменот на издувниот воздух. За да се обезбеди вредноста на позитивниот притисок во чистата просторија, најдобро е да се блокираат вентилаторите за довод на воздух, повратниот воздух и издувните вентилатори. Кога системот е вклучен, прво се стартува вентилаторот за довод, а потоа се стартуваат вентилаторот за враќање и издувниот вентилатор; кога системот е исклучен, прво се исклучува вентилаторот за издувни гасови, а потоа се исклучуваат вентилаторот за враќање и вентилаторот за довод за да се спречи контаминација на чистата просторија кога системот се вклучува и исклучува. Волуменот на воздух потребен за одржување на позитивниот притисок во чистата просторија главно се одредува од затегнатоста на структурата за одржување. Во раната фаза од изградбата на чисти простории во Кина, поради слабата затегнатост на структурата на затворен простор, потребни се 2~6 пати/час довод на воздух за да се одржи позитивен притисок од ≥5Pa; во моментов, затегнатоста на структурата за одржување е значително подобрена и потребни се само 1~2 пати/час довод на воздух за да се одржи истиот позитивен притисок; потребни се само 2~3 пати/час довод на воздух за да се одржи ≥10Pa. Националните спецификации за дизајн предвидуваат дека разликата во статичкиот притисок помеѓу чистите простории на различни нивоа и помеѓу чистите и нечистите области не треба да биде помала од 0,5 mmH2O (~5Pa), а разликата во статичкиот притисок помеѓу чистата област и надворешниот простор не треба да биде помала од 1,0 mmH2O (~10Pa).
Време на објавување: 03.03.2025